ICP-MS란 Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer의 약자로서 “유도결합 플라즈마 질량분석기”라는 뜻을 가지고 있다. 즉, 기존의 ICP-MS의 한 개의 사중극자에서 분석하고자 하는 원소만 걸러내어 이온화된 1가 양이온만을 분석하여 보다 낮은 농도의 정성 및 정량분석이 가능한 고(高)기능의 분석기기이다. 아르곤(Ar) 플라즈마로 이온화가 어려운 불활성 기체 원소를 제외한 대부분의 무기원소에 대해 극미량 분석이 가능하며, 시료 상태는 액체 시료가 주로 사용되며, 각 원소의 이온을 질량필터를 거쳐 목적으로 하는 원소의 이온을 측정한다.

중금속 성분을 고농도에서 고감도 분석까지 대부분의 원소를 %에서 ppt 이하 극미량까지 쉽게 분석 가능하며, 반도체산업 뿐만 아니라 토양, 수질, 식품 등에 존재하는 중금속 납, 카드뮴, 구리, 망간, 수은, 비소 등을 미량 측정하여 각 원소에 대한 정성 및 정량을 하는 측정분석 장비이다.
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1. RF power range : (500 ~ 1 600) W
2. RF generator : 27 MHz
3. Mass filter : Quadrupole Mass filter
3.1. Mass Range : (2 ~ 260) amu

3.2. Abundance Sensitivity (at Cs) :
- Low Mass side : 5 x 10^(-7)
- High Mass side : 1 x 10^(-7)
4. Detector : Orthogonal detector system(ODS)
4.1. Minimum Dwell Time : 100 μs
4.2. Dynamic Range : 11 orders of magnitude from 0.1 cps to 1010cps
5. Sample performance specification
5.1. Sensitivity (Mcps/ppm)
- Li (7) ≥140 Mcps/ppm
- Y (89) ≥600 Mcps/ppm
- Tl (205) ≥520 Mcps/ppm
5.2. Background on-mass : ≤ 0.3 cps
5.3. Oxide Ratio : CeO/Ce(HMI-25) <1.8 %
5.4. Doubly-charged Ratio : Ce2+/Ce <2.5%
5.5. detection limit : Be(9) : 0.05 ppt
In(115) : 0.02 ppt
Bi(209) : 0.02 ppt
5.6. Short term stability : 20 min <1 %RSD
5.7. Long term stability : 2 hours <1.2 %RSD
5.8. Isotope Ratio Precision : Ag(107)/Ag(109) <0.1 %RSD

- 용액속 극미량 금속원소분석
- 고순도 반도체 웨이퍼 및 실리콘의 순도분석
- 유기용매 중 금속원소 정량분석
- 중금속 함량분석
- 동위원소비 측정

- 유기시료의 경우 상담 후 분석 진행 가능
- NMP,n-Hexane,Toluene,MeOH 용매에 녹아야 분석가능

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