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- Field Emission Scanning Electron Microscope
전계방출형주사전자현미경(한기대, 교내전용) -
제조사(모델) JEOL Ltd.(JSM-7500F) 담당자 박재성 연락처 041-580-4957 이메일 js.park@koreatech.ac.kr 호실 제1캠퍼스 산학협력관 111호 처리기간 시료 도착 후 7일 이내
※담당자 시료 확인 후 신청승인 단계로 변경됩니다. -
직접사용 - 인정된 신청자가 직접 기기를 사용하여 분석
서비스의뢰 - 신청자가 의뢰건을 위탁분석
Tip. 급행(비용 1.5배), 장비 및 조건 선택에 상담이 필요한 경우는 담당자와 상의해 주세요.
- Field Emission Scanning Electron Microscope
원리 및 특성
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FE-SEM은 열방사형 전자총이 아닌 전계방사형 전자총을 사용하는 장비입니다. 전계방사형 전자총이란 뾰족한 팁 주변에 강한 전기장을 가하여 전자가 밖으로 투과되어 나올 수 있게 하는 전자총입니다. 이렇게 얻어지는 전자빔은 점원으로 부터 균일한 에너지를 가지고 있고, 높은 밝기와 작은 교차점을 형성할 수 있기 때문에 열방사형 전자총을 사용하는 SEM보다 고해상도의 이미지를 얻을 수 있습니다.
▶ 블로그 바로가기 : https://blog.naver.com/00811022/221192472654
규격
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- Resolution : 1.0 nm at 15kV, 1.4 nm at 1kV
- Max. sample size : 32 mm diameter, 25 mm height
- Magnification : ×25 ~ ×500,000 , 선명한 관찰 : ~ ×100,000
- EDS 성분분석- Acceleration voltage : 500 V ~ 30 kV
- Probe current : 2 nA up to 1 mA
- Stage : X : 70mm Y : 50mm Z : 1.5 mm ~ 25 mm T : -5° ~ 70° R : 360°
- Image modes : SEI, LEI, BSE
- EDS 규격
제조사 : OXFORD
모델명 : x-act 6
Resolution (FWHM): 129 eV
Detector active area : 10mm2
Measuring Range : B(5) ~ U(92)
용도(주 시험분야)
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회로, 반도체부품, 세라믹, 금속, powder 등 재료 및 제품의 표면, 파단면 분석 등에 쓰이며 EDS를 이용하여 재료의 구성원소 분포나 정성 분석이 가능합니다.
주의사항
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부도체 시료의 경우, 전자가 시료에 축적되어 전자빔을 밀어내는 역할을 합니다.
이 현상으로 인해 이미지가 왜곡되기 때문에Pt(백금) 또는 Au(금) 코팅 처리 후 분석을 진행하여야 합니다.
분석조건
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- SEM(사진)
- EDS(성분)
* 측정범위/배율/확인하고자 하는 원소 있다면 기입해 주세요.
사용료
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서비스시간
분석항목 단가 단위 구분 SEM / EDS 분석(1시간) 90000 시간 기본료
서비스시료
구분 분석항목 단위 단가 옵션 전처리(시료 고정위한 마운팅/폴리싱) 개 50000 옵션 전처리(시료 절단) 개 20000
직접사용
분석항목 단가 단위 구분 SEM / EDS 분석 45000 시간 기본료
